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如何用椭偏仪测量薄膜厚度及折射率

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率

椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射出来的将是线偏振光.根据偏振光在反射前后的偏振状态变化,包括振幅和相位的变化,便可以确定样品表面的许多光学特性.

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已被采纳为答案 回答者:shengxin-pla | 2009/6/3
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